超纯水制水设备是以反渗透(RO)为基础,搭配 EDI 电去离子或混床精处理的高端水处理系统,用于生产电阻率 15–18.2 MΩ・cm的超纯水,专供高精密清洗、半导体、光学、医疗、新能源等对水质要求极高的工艺,确保工件无水渍、无离子残留、无氧化、洁净度稳定。
典型应用
全自动多槽超声波清洗机末级精密漂洗
碳氢清洗机配套前级高纯水预洗
半导体 / 电子:晶圆、PCB、精密元器件清洗
光学:镜片、棱镜、显示屏、镜头组件清洗
医疗:植入物、手术器械、内镜部件无菌清洗
新能源:电池极片、壳体、电机零部件精密清洗
一、核心功能
深度去除杂质:多级预处理(砂滤、炭滤、精密过滤)去除泥沙、铁锈、胶体、余氯、有机物、悬浮物,保护核心膜件。
反渗透(RO)纯水制备:RO 膜去除 99% 以上离子、重金属、细菌、病毒,产出纯水(1–5 μS/cm)。
超纯化处理(EDI / 混床):
EDI:连续电去离子,深度脱盐,稳定产出 15–18.2 MΩ・cm 超纯水,无需酸碱再生、环保安全。
混床:阴阳树脂交换,深度去除微量离子,达到 18.2 MΩ・cm 极限纯度,适合超高洁净场景。
水质稳定输出:在线监测电阻率 / 电导率、TOC、温度,实时显示、超标报警,保证水质长期稳定。
全自动运行:PLC + 触摸屏控制,自动制水、循环、冲洗、补水、停机、故障报警,无人值守、连续供水。
闭环循环防污染:超纯水循环回流,避免接触空气导致电阻率下降,维持高纯度。
保护精密工艺:杜绝钙镁离子、氯离子、金属离子残留,防止工件水渍、白斑、氧化、腐蚀,适配高端清洗线精密漂洗。
二、标准工艺流程(RO+EDI)
自来水 → 原水泵 → 多介质过滤器 → 活性炭过滤器 → 精密过滤器(5μm) → 一级 RO → 二级 RO → 中间水箱 → EDI 模块 → 超纯水箱 → 循环供水至清洗机
超高纯可选:二级 RO → 混床 → 超纯水箱
三、核心特点
超高纯度:出水电阻率15–18.2 MΩ·cm,满足半导体、光学、医疗植入级洁净标准。
稳定可靠:全自动化运行,24 小时连续供水,水质波动极小,适合精密清洗线批量生产。
环保安全:EDI 无需酸碱再生,无危废排放;全密闭循环,无二次污染。
低运行成本:树脂寿命长、能耗低、维护简单,长期使用经济性好。
适配高端清洗:专为全自动多槽超声、碳氢清洗机、真空清洗线的精密漂洗工位设计,保障工件无残留、无水痕。
四、出水水质(标准)
超纯水:电阻率 15–18.2 MΩ·cm(25℃)
电导率:≤0.055 μS/cm
TOC:≤10 ppb
颗粒:≥0.05μm 颗粒<1 个 /mL
离子残留:几乎为零